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手套箱故障分析

一、循环启动不了

1. 工作气压力是否在0.4-0.6MPa之间；

2. 高真空挡板阀电磁开关反馈是否正常；

3. 压力传感器是否显示正常；

4. 风机空开是否跳闸；

5. 风机变频器是否正常；

6. 点循环后，继电器是否同时亮两个。

二、再生按钮不起作用

1. 需输入密码；

2. 真空泵未打开；

3. 此净化柱正在循环（再生和循环不能同时在一个净化柱上）。

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手套箱常见故障及解决办法

1、循环和分析仪同时关掉

原因：①箱内压力瞬间过高，超过+12mbar，系统自动保护；②电压不稳，造成系统保护。

办法：①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常，箱体真空阀或补1气阀是否损坏，压力回复正常后，再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉，无法运行。

2、大、小仓无法补1气

原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞；②电磁阀是否没有打开。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②检查线路及电磁阀。

3、大小仓无法抽气

原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气；②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②关紧仓门，检查大小密封圈；③检查工作气压是否过低（因为大仓抽气阀是气动阀）。

手套箱安装筹备条件是哪些？

1.整机应安放在温差较小、操作便利的位置，应避免阳光直晒和远离采暖设备，放置平稳;

2.将夹杂气瓶、氮气瓶安放平稳，并分袂装好减压阀(含压力表)，安设在适当位置;

3.接上气路并检查气路，为防止漏气，时可在各接管处用密封胶粘合;

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。但如果教师要在授课的课堂上做化学演示实验，化学演示实验时所产生的有害气体，就要逸放至教室的空间内，便造成了对教室空气的污染，从而影响师生的身体健康。

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