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实验室集中供气的优点
1、保持气体纯度
2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，保证气体连续供应
3、低压警示：当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力
5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本
6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高安全感、节省实验室操作空间
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大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成中央供气系统。它们的投资规模巨大，采用1先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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电子特气管道系统氦检漏检测规定
1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
氦质谱检漏仪
真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中；
漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；
1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；
检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；
反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；
消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；
漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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