大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用1先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。艾明坷科技有限公司主营手套箱,如需了解更多详情,欢迎与我们交流。
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特气系统知识分享:一般混合气体
由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%;含氢40%,其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦为底气。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合气。激光用气含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氢等都要保持低浓度。
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氦质谱检漏仪
随着科技的迅猛发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。艾明坷科技有限公司专业致力于手套箱、溶剂净化等行业技术服务,艾明坷竭诚为您服务。
高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%。
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