艾明坷科技（北京）有限公司

手套箱操作步骤

抽真空与充气的放法：

1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空，过渡室则可以单独抽真空。

2、先打开过渡室里面的门，然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。

3、打开手套口之间的三通阀（逆时针旋转），将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体，使得抽气时手套内外（箱体和接口）同时抽真空，保持两边气压平衡。

4、将真空泵接到过渡室一个阀门上，开启真空泵，缓缓打开此阀门，对系统抽气（如打开阀门的速度太快，可能引起手套膨胀）。

5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时，抽真空完成，此时应先关阀门再关真空泵。

6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体，直至气压比大气压（气压表指数为0MPa）略高一点，使箱体内、外的压力基本平衡，且内部略高于外部，可保证大气不会渗入箱体内部（如果您想使箱体内的气体更纯净，将以上抽气和充气过程重复几次）。关掉连接手套接口的三通阀，打开手套接口上的压盖，就可以进行操作了。2、当箱内氧气浓度超出200PPM时，应通知设备维修人员进行系统操作，否则会破坏水、氧净化系统。

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手套箱的日常维护保养

1.手套箱每周检查真空泵油面，不足三分之二时要注意添加，为保证真空泵的运转，延长真空泵的使用寿命，建议每半年更换一次真空泵油。

2.箱体和玻璃用常用的清洁剂清洗外面（禁止使用有腐蚀性的清洁剂）；用柔软的无绒屑的布；如果可能可以使用带刷子的吸尘器或粘纸滚轮。

3.检查手套是否破损，特别是手指头上，工作时请戴布手套以免在手套内产生水气。另外，工作完毕后请把每个手套上的5个指套指向外，防止时间长了，汗液把指套粘住。注意：发现手套破损后要立即更换，禁止对手套进行任何修补。

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手套箱在OLED器件制作过程中的应用

OLED，即有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），是一种全新的显示技术。与LCD相比，可视角度宽（大于170°）、响应时间快（LCD的千分之一）、低温特性好（在零下40度正常显示）、低功耗等优点，被业界广泛看好成为下一代显示技术，现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展，白光OLED在照明领域也开始崭露头角，尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。手套箱操作室次置换(氮气置换)反复一次充氮过程，取样室先抽真空，并注意随时用脚踏开关开闭排气。

通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED（也称PLED）两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。

OLED器件的制备工艺大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序

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