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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要专业、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全可靠。大宗特气供气系统介绍大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。阀门是管路流体输送系统中控制部件，用来改变通路断面和介质流动方向，具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。

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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有良好通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。

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特气系统知识分享：一般混合气体

由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。

对气体分析仪用气体,如含氢10%，其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%；含氢40%，其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。

在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以氦为底气。

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合气。激光用气含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氢等都要保持低浓度。

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。