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惰性气体手套箱分为三种

A）真空手套箱：在操作前，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。

B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。

C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。

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什么是手套箱

这里所指的手套箱是一个全密闭的腔体，把腔体内外的环境完全隔绝开，腔体的一面安装有视窗 和手套，操作人员通过手套对腔体内的物料进行操作。

手套箱有多种用途

1）当对有毒有害物料进行操作时，手套箱可以保护操作人员和环境；

2）当大气环境的 物质如细菌和粉尘会污染物料时，手套箱可以用于隔离箱体外部的物质，保护箱体内的材料免遭污染；

3）当空气会与物料作用影响物料性能时，手套箱里可以充满 惰性气体，箱体用于隔离箱体外部的空气，保护箱体内的材料免遭空气的气体如水、氧气、有时甚至氮气的污染。后一个设备称为惰性气体手套箱,为要操作的物 料提供一个惰性气体的环境。

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。此外，目前的通风装置都只有通风换气功能，不能完全避免对人体的伤害而且不能针对有害气体进行净化处理，使有害气体直接排出室外，成为空气环境的污染源。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。