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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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手套箱功能原理       

手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱（水氧吸附器）之间，在PLC的控制和监视下，通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉，然后再返回箱体内，随着循环时间的推移，箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少，终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和，可进行再生，重复使用。2、循环净化手套箱：具有循环除氧除水除有机1溶剂的深度自主净化功用的手套箱，是目前先进的惰性气体手套操作箱。

真空手套箱

手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱，所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时，国内批厂商命名的，就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱，箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思，可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体；有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体，里面填充99.999%纯度氮气，一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度，不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气；由烘箱（两台以上）、手套箱（包括冷却舱、箱体和出料舱）组成，有冷却舱强制降温，可大大提高生产效率，一台手套箱可供多台烘箱使用，降低设备成本。净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱，可达到的环境气氛纯度高，一般品质过硬的厂商，水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。

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