薄膜均匀性概念
1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。1964年,采用离子镀方法在钛合金紧固件上镀铝,解决了飞机零件的“镉脆”问题。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。真空镀膜机真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。 具体因素也在下面给出。
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多功能真空镀膜机
真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气。现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致镜片上吸附灰尘,造成产品不良真空蒸渡金属薄膜是在高真空条件下,以电阻、高频或电子加热使金属熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜,其中被镀金属材料用的1多的是铝,在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或镀铝纸,在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的,真空度过高或过低都会影响镀膜的性能,目前,工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定,导致生产过程中产品的性能不够稳定,因此,解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题尤为重要,而且内部镀膜物件的温度高,需要及时降温,提高工作效率。冷凝泵的工作原理:主要是低温表面对气体的冷凝作用、冷捕作用及物理低温吸附作用。
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真空镀膜机部件分析
真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用1多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢' target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。镀膜机操作程序真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。镀膜时间,厚度大小组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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