实验供气系统使用安全注意事项
1.易1燃易1爆气体:此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室
内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下:
①可燃气体比空气轻者,报警装置设置在所处场所的顶部。
②可燃气体比空气重者,报警装置设置在所处场所的1低处。
③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁,当空气中的可燃气体浓度达到规定值时,事故排风装置自动开启,同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入大气的排气管道上,为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故,必须在排气管道上设置阻火器。
⑤可燃气体在适当的管道处应做接地,但接地电阻应符合相关规定。
⑥各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口,以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换,但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通,以避免影响气体质量。
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特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。如需了解更多高纯供气系统的相关信息,欢迎关注艾明坷网站或拨打图片上的电话询。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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试验室集中供气系统的优点
针对过去使用中存在的问题,现代试验室对载气的使用环境进行了改革,即 “集中供气系统”,即将使用气体(以下简称载气)集中贮存,然后通过压差的原理将气体经过金属或其他材质管路送至用气点。其优点主要有以下几点:
1、首先解决气瓶的放置问题。气瓶间的位置如果可能尽量位于与试验室相对独立的房间,如果与试验室在同一大楼内,则气瓶间的位置要尽量位于人1流较少并且独立的房间,这种方式可使气瓶与工作人员及仪器完全隔离,即使有害气体有泄漏,也不会发生直接伤害。不应在封闭空间内用惰性气体(如氮气、二氧化碳等)进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
2、其次气体混合的问题。将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中与助燃气体分开存贮。
3、再次是解决气瓶压力的问题。每种气体可以将多瓶气体并联然后通过一个出口统一减压后运送气体至使用点。检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率。因为气瓶间是相对独立的,整个气路系统压力1大的地方也是气瓶出口处,因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内,可对人体及仪器的伤害可降到1低。
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