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手套箱常见故障及解决办法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱调试或误操作。

办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因：气源压力不足。

办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。

办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。

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真空手套箱

手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱，所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时，国内批厂商命名的，就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱，箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思，可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体；有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体，里面填充99.999%纯度氮气，一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度，不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气；3、对系统抽气时，请缓缓打开阀门，并随时注意手套的变化，如出现膨胀，应减慢抽气速度，如仍不能解决问题，应停止抽气，如手套发生爆裂，检查三通阀是否打开。净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱，可达到的环境气氛纯度高，一般品质过硬的厂商，水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。所以，有机玻璃手套箱在利用和洁净的时候，必需注意，不能利用酒精。

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