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手套箱常见故障及解决办法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱调试或误操作。

办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因：气源压力不足。

办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。

办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。

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什么是手套箱

这里所指的手套箱是一个全密闭的腔体，把腔体内外的环境完全隔绝开，腔体的一面安装有视窗 和手套，操作人员通过手套对腔体内的物料进行操作。

手套箱有多种用途

1）当对有毒有害物料进行操作时，手套箱可以保护操作人员和环境；

2）当大气环境的 物质如细菌和粉尘会污染物料时，手套箱可以用于隔离箱体外部的物质，保护箱体内的材料免遭污染；

3）当空气会与物料作用影响物料性能时，手套箱里可以充满 惰性气体，箱体用于隔离箱体外部的空气，保护箱体内的材料免遭空气的气体如水、氧气、有时甚至氮气的污染。后一个设备称为惰性气体手套箱,为要操作的物 料提供一个惰性气体的环境。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。四、如何正确选择手套箱型号：首先我们确定是需要几个人操作的箱体。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。