小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气,应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气,高纯供气系统价格,也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体,更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂,电化学抛光316L不锈钢管件,出气口配置微米过滤器,高纯供气系统,其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界水平。
气体配比仪采用高精度质量流量计,电化学抛光316L不锈钢管件,高纯供气系统多少钱,双卡套或者VCR气体接头。
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