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溶剂纯化，其是将制程所产生含有有机溶剂的待净化废气导入一吸脱附装置，并于该吸脱附装置的下游端设置一净化装置，另于该吸脱附装置的上游端设置一用以升温的热交换器；其中进一步设置一热泵连接热交换器，让热交换器与该热泵的冷凝器进行热交换。本实用新型具有净化成效稳定不受天气影响的功效，且具有节能及延长吸附材料使用寿命的功能。

溶剂纯化利用利用低压净化圆管技术去除易燃溶剂内的水分及氧份，安全有效地连续供应高纯度（低水低氧）有机溶剂的装置。 利用惰性气体将储液器溶中的溶剂压入铜净化柱中，溶剂中的O2等杂质与除氧器中的低价氧化物作用，生成高价金属氧化物，实现深度脱氧； 脱氧后的气体进人活性铝吸附器中，H2O等强吸附质被吸附剂吸附后，即得到高纯溶剂。