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利用惰性气体将储液器溶中的溶剂压入净化柱中，溶剂中的O2等杂质与除氧器中的低价氧化物作用，生成金属氧化物，以实现深度脱氧：

2xM+yO2→2MxOy（室温）

脱氧后的气体进人吸附器中，H2O等强吸附质被吸附剂吸附后，即得到高纯溶剂，可直接取用。

除氧器、吸附器经较长时间的工作，脱氧和吸附能力会逐渐下降，当除氧器或除水器快要饱和失效时，就应停止使用，并对失效的塔进行再生，再生后的净化柱又可继续使用。