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手套箱在OLED器件制作过程中的应用

OLED，即有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），是一种全新的显示技术。与LCD相比，可视角度宽（大于170°）、响应时间快（LCD的千分之一）、低温特性好（在零下40度正常显示）、低功耗等优点，被业界广泛看好成为下一代显示技术，现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展，白光OLED在照明领域也开始崭露头角，尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。

通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED（也称PLED）两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。

OLED器件的制备工艺大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，手套箱专用氧分析仪价格，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱常见故障及解决办法

1、循环和分析仪同时关掉

原因：①箱内压力瞬间过高，超过+12mbar，系统自动保护；②电压不稳，造成系统保护。

办法：①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常，箱体真空阀或补1气阀是否损坏，压力回复正常后，再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉，无法运行。

2、大、小仓无法补1气

原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞；②电磁阀是否没有打开。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②检查线路及电磁阀。

3、大小仓无法抽气

原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气；②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②关紧仓门，检查大小密封圈；③检查工作气压是否过低（因为大仓抽气阀是气动阀）。

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