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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，手套箱厂家，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱主要特点

1、可自动化功能控制气压，检测，净化，手套箱生产厂家，还原

2、触摸屏幕：彩色中英文操作界面，易于进入各功能，实现人机对话

3、循环：闭合环气体循环，无油和真空

4、气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-12mbar

5、箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全

6、脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整

7、配置国际品牌组件

8、密封性能优越，手套箱生产厂家，更换方便

9、数据备忘录：自动记录系统数据

10、制系统：采用PLC程序控制系统

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艾明坷手套箱优点

1.密闭循环

手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧

2.自动控制再生

除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制

3.自动清洗

手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成

4.箱体压力控制

手套箱内压力通过PLC自动控制， 工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护

5.真空泵自动控制

真空泵要求在系统需要时自动开启

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