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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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手套箱的日常维护保养

1.注意：通电后，若有无法启动的问题，一种可能性是因为真空泵电源线连接松动，另一种原因是真空泵自身的开关未开启。

2.要样品放入手套箱时，尽量使用小过渡舱，打开过渡舱门前需先注意阀门腔上的压力表指针是否在零的位置。若是，则可直接打开；若否，则需先将阀门腔下的开关转至“填充”的位置，使气体进入手套箱过渡舱内，再将开关转回中间位置，此时可以打开过渡舱门将样品放入，再将舱门关上。放置样品时，需小心不要用手触摸过渡舱内壁，请佩戴手套取放样品。

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手套箱在OLED器件制作过程中的应用

OLED，即有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode），是一种全新的显示技术。与LCD相比，可视角度宽（大于170°）、响应时间快（LCD的千分之一）、低温特性好（在零下40度正常显示）、低功耗等优点，被业界广泛看好成为下一代显示技术，现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展，白光OLED在照明领域也开始崭露头角，尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。

通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED（也称PLED）两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。

OLED器件的制备工艺大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序

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