手套箱操作步骤
将物件放入与取出主箱体的方法:
1、将物件放入主箱体的方法:当您完成“抽真空与充气”的操作后,如需要放物件放入主箱体,请先将过渡室的内门关上,打开过渡室的外门,将物件放入,然后关上外门,利用过渡室上的二个阀门进行抽气和充气。务必使主箱体和过渡室内的压力与大气压基本平衡,才能打开里面的门,将物件拿进主箱体。
2、将主箱体内物件取出的方法: 先将物件放入过渡室,关紧过渡室内门。如过渡室内气压与大气压基本平衡,即可打开过渡室外门将物件取出。
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手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气,氮气要及时更换,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常(氧为0.1ppm以下,露1点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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手套箱在OLED器件制作过程中的应用
OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),是一种全新的显示技术。与LCD相比,可视角度宽(大于170°)、响应时间快(LCD的千分之一)、低温特性好(在零下40度正常显示)、低功耗等优点,被业界广泛看好成为下一代显示技术,现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展,白光OLED在照明领域也开始崭露头角,尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。
通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED(也称PLED)两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同:小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺,高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。
OLED器件的制备工艺大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序
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