手套箱操作步骤
抽真空与充气的放法:
1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空,过渡室则可以单独抽真空。
2、先打开过渡室里面的门,然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。
3、打开手套口之间的三通阀(逆时针旋转),将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体,使得抽气时手套内外(箱体和接口)同时抽真空,保持两边气压平衡。
4、将真空泵接到过渡室一个阀门上,开启真空泵,缓缓打开此阀门,对系统抽气(如打开阀门的速度太快,可能引起手套膨胀)。
5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时,抽真空完成,此时应先关阀门再关真空泵。
6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体,直至气压比大气压(气压表指数为0MPa)略高一点,使箱体内、外的压力基本平衡,且内部略高于外部,可保证大气不会渗入箱体内部(如果您想使箱体内的气体更纯净,将以上抽气和充气过程重复几次)。关掉连接手套接口的三通阀,打开手套接口上的压盖,就可以进行操作了。
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手套箱利用
操作室厌氧环境形成:
1.按利用要求放置好的附件和器具;
2.通电源开照明灯,开温控仪,调节所需温度;
3.操作室内放入1000g钯粒和500g干燥剂,并放入美兰指示纸;
4.关紧取样室内外门,并抽真空校验;
5.操作室内*次置换(氮气置换):
A.把乳胶手套套在察看板法兰圈上并扎紧
B.接通氮气进气路,打开氮气节制阀1,使手套鼓起,封1锁阀门1,然后扎紧袋口;
6.手套箱操作室次置换(氮气置换)反复一次充氮过程,取样室先抽真空,并注意随时用脚踏开关开闭排气。如此持续三次氮气置换。
7.操作室第四次置换(夹杂气体置换):
(夹杂气体配比为N285%、H210%、CO25%)
A.更调气路打开夹杂气阀3进气,充气时取样室先抽真空,并随时用脚踏开关开闭排气;
B.关掉夹杂气体阀3,并打开阀5,使夹杂气体经由流量计,调整流量计,流量为每分钟10ml摆布;
C.夹杂气体反复2-3次转换,经由上述过程,根基形成厌氧环境。
8.操作室内打开粑粒除氧剂,接通除氧催化器电源进行催化除氧,一小时后打开美兰指示纸察看其变色状况,不变色为操作室内达到厌氧环境;
9.开紫外线灯,室内进行措置,时间按具体尝试自定。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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