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半导体手套箱生产厂家“本信息长期有效”

艾明坷科技(北京)有限公司
  • 经营模式:生产加工
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  • 主营:手套箱,溶剂净化
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    手套箱故障分析

    一、手套箱不断抽真空

    1. 过渡舱舱门未关严;

    2. 脚踏是否被东西压住;

    3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住;

    4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

    二、手套箱用气量增大

    1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏,气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气;

    2. 高真空挡板阀气体泄漏;

    3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气,依次检查。

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    手套箱常见故障及解决办法

    1、循环和分析仪同时关掉

    原因:①箱内压力瞬间过高,超过+12mbar,系统自动保护;②电压不稳,造成系统保护。

    办法:①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常,箱体真空阀或补1气阀是否损坏,压力回复正常后,再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉,无法运行。

    2、大、小仓无法补1气

    原因:①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞;②电磁阀是否没有打开。

    办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②检查线路及电磁阀。

    3、大小仓无法抽气

    原因:①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气;②仓门没关紧,或是大小仓密封圈松动。

    办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②关紧仓门,检查大小密封圈;③检查工作气压是否过低(因为大仓抽气阀是气动阀)。

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    什么是手套箱

    这里所指的手套箱是一个全密闭的腔体,把腔体内外的环境完全隔绝开,腔体的一面安装有视窗 和手套,操作人员通过手套对腔体内的物料进行操作。

    手套箱有多种用途

    1)当对有毒有害物料进行操作时,手套箱可以保护操作人员和环境;

    2)当大气环境的 物质如细菌和粉尘会污染物料时,手套箱可以用于隔离箱体外部的物质,保护箱体内的材料免遭污染;

    3)当空气会与物料作用影响物料性能时,手套箱里可以充满 惰性气体,箱体用于隔离箱体外部的空气,保护箱体内的材料免遭空气的气体如水、氧气、有时甚至氮气的污染。后一个设备称为惰性气体手套箱,为要操作的物 料提供一个惰性气体的环境。

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