手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气,氮气要及时更换,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常(氧为0.1ppm以下,露1点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱(水氧吸附器)之间,在PLC的控制和监视下,通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉,然后再返回箱体内,随着循环时间的推移,箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少,终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和,可进行再生,重复使用。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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