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手套箱操作前的工作

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）

4、检查设定里的上限压力应为+1，下限压力为0

5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）

6、过度舱真空泵应处于常开状态

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手套箱常见故障及解决办法

1循环无法开启

原因：电压不稳造成变频器保护，导致无法开启循环。

办法：等电压稳定后重启手套箱即可解决。

2再生时用气量远小于从前

原因：手套箱内有机1溶剂含量过高，循环时有机1溶剂进入循环系统，再生时有机1溶剂堵塞再生气管路上的单向阀所致。

办法：①将单向阀换为直通阀，从此再生压力设置为0.03~0.04Mpa；②观察再生气流量计显示是否在20ml/min左右，否则调整减压阀压力。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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