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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

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手套箱常见故障及解决办法

1、清洗时箱压持续增加

原因：清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不畅通造成。

办法：①保证管路畅通，不要折弯；②清洗时，箱内相对压力持续低于0.5毫巴。

2、净化柱主阀故障

原因：①工作气压力不足0.5Mpa；②主阀信号反馈故障。

办法：①更换工作气瓶，或检查减压阀副表压力在0.5Mpa；②检查主阀信号开关。

3、循环不能开启

原因：风机变频器低压或高压保护。

办法：待电压稳定后，关机隔1分钟后重启。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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