手套箱故障分析
一、风机跳闸
1. 检查设备是否有溶剂过滤系统,观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确;
2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了?这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对;
3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。
二、风机出现杂音轴承缺油,需专业人士拆开风机,加油保养。
三、手套箱不断漏气
1. 设备本身密封出现问题,保压检漏;
2. 过渡舱舱门未关严;
3. 脚踏是否被东西压住;
4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。
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手套箱故障分析
一、手套箱不断抽真空
1. 过渡舱舱门未关严;
2. 脚踏是否被东西压住;
3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住;
4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。
二、手套箱用气量增大
1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏,气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气;
2. 高真空挡板阀气体泄漏;
3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气,依次检查。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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