手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气,氮气要及时更换,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常(氧为0.1ppm以下,露1点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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手套箱常见故障及解决办法
1、循环和分析仪同时关掉
原因:①箱内压力瞬间过高,超过+12mbar,系统自动保护;②电压不稳,造成系统保护。
办法:①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常,箱体真空阀或补1气阀是否损坏,压力回复正常后,再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉,无法运行。
2、大、小仓无法补1气
原因:①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞;②电磁阀是否没有打开。
办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②检查线路及电磁阀。
3、大小仓无法抽气
原因:①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气;②仓门没关紧,或是大小仓密封圈松动。
办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②关紧仓门,检查大小密封圈;③检查工作气压是否过低(因为大仓抽气阀是气动阀)。
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手套箱在OLED器件制作过程中的应用
OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),是一种全新的显示技术。与LCD相比,可视角度宽(大于170°)、响应时间快(LCD的千分之一)、低温特性好(在零下40度正常显示)、低功耗等优点,被业界广泛看好成为下一代显示技术,现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展,白光OLED在照明领域也开始崭露头角,尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。
通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED(也称PLED)两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同:小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺,高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。
OLED器件的制备工艺大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序
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